[VIP第1年] 指数:3
洁净实验室空间标准实验室建筑面积分配实验建筑工程建设用地必须坚持科学合理和节约用地的原则。在总体布局上，建筑物应尽量相对集中，形成建筑群，实验建筑的层数应以建多层为主，实验建筑工程的规划建设用地指标包括建筑物、构筑物、露天堆料场、道路和绿化等用地。1、实验建筑组合类型(1)类以低层为主，建筑覆盖率控制在25%~27%;(2)第二类以高层为主，建筑覆盖率控制在23%~25%;(3)第三类为低层和高层结合，建筑覆盖率控制在21%~23%。
净化工程中的纯气的影响及难点分析在IC的加工与制造封装中，净化工程高纯的气体可作为保护气、置换气、运载气、反应气等，为保证芯片加工与封装的成品率和可靠性，其中一个重要的环节，就是严格控制加工过程中所用气体的纯度。所谓"高纯"或"超纯"也不是无休止的要求纯而又纯，而是指把危害IC性能、成品率和可靠性的有害杂质及尘粒必须减少到一定值以下。例如在IC封装过程中，把待减薄的晶圆，划后待粘片的晶圆，粘片固化后待压焊的引线框架(LF)与芯粒放在高纯的氮气储藏柜中可有效地防止污染和氧化；把高纯的C02气体混合人高纯水中，可产生一定量的H+，这样的混合水具有一定的消除静电吸附作用，代划片工序使用可有效地去除划痕内和芯粒表面的硅粉杂质，以此来减少封装过程中的芯粒浪费。
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