高港大气等离子处理 东莞市恒芯半导体设备供应

大气等离子体清洗的机理，主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看，等离子体清洗通常包括以下过程：无机气体被激发为等离子态；气相物质被吸附在固体表面；被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子；产物分子解析形成气相；反应残余物脱离表面。大气等离子清洗机常见功能如下：等离子表面活化/清洗；等离子处理后粘合; 等离子蚀刻/活化; 等离子去胶; 等离子涂镀(亲水,疏水); 增强邦定性；等离子涂覆；等离子灰化和表面改性等场合。等离子体在其中起到的功能如下：物理作用等离子体中的大量离子、激収态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，去除了表面原有的污染物和杂质，高港大气等离子处理，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面，高港大气等离子处理。提高固体表面的润湿性能，高港大气等离子处理。大气等离子清洗机需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很容易达到。高港大气等离子处理

做过等离子表面处理机表面处理的产品可以保留多久？这个是根据产品本身的材质来的，可以建议为了避免产品受到二次污染，在做了等离子表面处理之后可以进行下一道工序，这样可以有效的解决了二次污染问题，也提高了产品的性能和质量。在应用过程中还发现不能用等离子体清洗很好除去表面粘附的指纹，而指纹是玻璃光学元件上常出现的一种污染物。等离子体清洗也不完全不能用于除去指纹，但这需要延长处理时间，这时又不得不考虑到这是他会对基材的性能造成不良的影响。所以还需要采用其他清洗措施进行预处理相配合。结果使清洗工艺过程复杂化。高港大气等离子处理大气直喷射等离子清洗机的喷嘴颈与地线相连，作为放电的负极，也需要定期更换。

不同的放电模式、工作物质状态和上述影响等离子体产生的因素可以结合起来，形成各种低温等离子体处理设备。低温等离子体技术具有工艺简单、操作方便、处理速度快、处理效果好、环境污染小、节能等优点，普遍应用于表面改性。大气常压等离子清洗机有几种常见频率：25-40kHz，通常称为产生中频和超声波等离子清洗机的电源。中频等离子体的自偏压约为1000伏，应用于大体积真空室。其特点是等离子体能量高，但等离子体密度低，不需要匹配。正常情况下是5 kW到20 kW。

大气压等离子有三种效果模式可选。一是选用 氩气/氧气 组合，主要面向非金属材料并且要求较高的表面亲水效果时采用，比如玻璃，PET Film等。二是选用氩气/氮气组合，主要面向各种金属材料，如金线、铜线等。因氧气的氧化作用，替换为此方案中的氮气后，该问题可以得到有效控制。三是只采用氩气的情况，只采用氩气也可以实现表面改性，但是效果相对较弱。此为特殊情况，是少数工业客户需要有限而均匀的表面改性时采用的方案。安全易用。大气压式等离子，也是低温等离子，不会对材料表面造成损伤，例如对方阻值敏感的ITO Film材质亦可处理。无电弧，无需真空腔体，也无需废气排放系统，长时间使用并不会对操作人员造成身体损害。大气压等离子较大可以处理2m宽的材料，可以满足现有多数工业企业的需求。成本低廉。大气压等离子设备功耗低，运行成本以气体为主。等离子体的“活性”成分包括：离子，电子，原子，活性基团，激发的核素（易位态），光子等。

大气等离子清洗机保养事项：每月定期查看真空泵油位和油的纯度，观察油位视窗，油位接近较低红线刻度时，则添加到油红标线上下之间位置；观察油的颜色，正常的油为清洁透明，当油出现浑浊（油颜色变灰褐色或者油位视窗模糊不清）、真空泵噪音异常，则及时更换真空油。清洗反应腔室，首先脱脂棉布沾无水乙醇（俗称酒精）擦拭（不要用乙醇擦拭反应腔体观察玻璃）真空腔体。其次腔体导入（氩气+氧气）或（氮气+氧气），用等离子体去除腔体内残余物。工作10分钟，每月至少一次。检查输气管道的完整性及真空密封性，定期检查真空系统的完整性，这种检查应该在彻底的清洗反应室之后，以避免污染物遗漏在腔体中。定期检查反应腔体门密封条是不是松动。大气压式等离子，也是低温等离子，不会对材料表面造成损伤，例如对方阻值敏感的ITO Film材质亦可处理。高港大气等离子处理

大气等离子清洗机活化表面作用，此外，还可以在电弧电晕中活跃它。高港大气等离子处理

大气低温等离子清洗设备在运行的时候对于电源的要求是220V的交流电频率为50HZ的电源，应该在开启设备之前做好电源的连接和检查工作，设备运行之后应该发出的是平稳的运转声，而且通常会有绿色的指示灯常亮来显示设备正常运行，如果出现黄色故障灯亮起，则要停止运行进行排休检查。在使用三和波达低温等离子清洗设备的时候，应该特别注意红色的警示灯，通常设备运行出现问题或者抖动频率过快的情况下红色灯会常亮，这个时候应该马上按下复位键观察设备，如果设备依然出现异常则应该停止设备的运行，然后进行故障的排查，以避免设备出现损坏。高港大气等离子处理

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